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| 新型 P-6 表面轮廓仪系统 | |||||
作者：佚名 文章来源：61IC 点击数： 更新时间：2008-7-18  |
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融合 KLA-Tencor 的自动化 P-16+ 探针式轮廓仪的众多功能，P-6 探针式轮廓仪充分承袭了最佳技术与效能的传统： • 低噪声基底可改善表征微小表面特征的测量灵敏度 • 小于 6 埃的步进高度可重复性，确保了严苛的制程控制 • 150 毫米 X-Y 样本载台可实现覆盖整个基底的单一测量 • 2D 应力测量与分析可将缺陷降至最低并提升良率 • 功能强大且容易使用的分析软件，提供高阶应用的灵活性 P-6 轮廓仪已通过主要太阳能产品制造商 BP Solar 的合格认证。 P-6 系统将于 2008 年 7 月 15 至 17 日在旧金山举办的 InterSolar 北美展会第 9252 号 KLA-Tencor 展台上展出。 |
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